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一、氦气管道核心检测项目

1. 压力与密封性

• 压力试验：设计压力 1.5 倍的液压试验（保压时间≥10 分钟）或气压试验（需逐步升压）。

• 泄漏检测：氦质谱检漏法（泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s）或皂泡法（用于粗检）。

2. 材料与工艺

• 材质验证：不锈钢（如 316L）化学成分分析（ASTM A312）。

• 焊接质量：射线 / 超声波探伤（GB/T 3323）、焊缝表面渗透检测（JB/T 4730）。

• 清洁度：管道内壁颗粒度（≤10μm）、油分残留（≤1mg/m²）。

3. 安全与功能性

• 防静电接地：接地电阻≤10Ω（GB 50169）。

• 阀门与附件：启闭灵活性、密封性（API 598）。

• 标识与流向：介质名称、流向箭头（GB 7231）。

二、主要检测标准

1. 国际标准

• ISO 13431:2012：气体管道系统泄漏检测（氦质谱法）。

• ASME B31.3-2020：工艺管道规范（压力试验、材料选择）。

• ASTM E1459-18：真空系统氦质谱检漏标准。

2. 国内标准

• GB/T 20801.5-2020：压力管道规范（泄漏试验方法）。

• GB 150.1-2011：压力容器（液压试验要求）。

• GB 50235-2010：工业金属管道施工规范（焊接、压力试验）。

3. 行业标准

• HJ/T 20-1998：工业管道工程施工及验收规范（适用于高纯气体）。

• YS/T 442-2018：半导体用高纯氦气管道施工标准。

三、检测方法与技术

1. 氦质谱检漏：

• 真空模式：管道抽真空后充入氦气，用质谱仪检测泄漏（灵敏度达 10⁻¹² Pa・m³/s）。

• 正压模式：管道充氦气，外部用质谱仪扫描（适用于大口径管道）。

2. 清洁度检测：

• 颗粒计数法：ISO 4406 标准（液压油污染度）或 ISO 16232（气体管道颗粒度）。

• 擦拭法：棉签取样后显微镜分析（油分残留）。

3. 压力试验：

• 液压试验：用水或无腐蚀性液体（温度≥5℃，避免结冰）。

• 气压试验：危险性较高，需严格控制升压速率（≤0.1MPa/min）。

四、注意事项

1. 环境要求：

• 检漏时需远离其他氦气源（如实验室设备），避免干扰。

• 清洁度检测需在洁净室（ISO 6 级以上）或临时密封环境中进行。

2. 特殊场景：

• 医疗 / 食品行业：需符合 GMP 标准（如 GB 50457），避免微生物污染。

• 低温管道（如液氦）：需检测材料低温韧性（GB/T 19744）。

3. 文件记录：

• 保留压力试验曲线、泄漏检测图谱、材质报告等原始数据。

五、典型应用场景

• 半导体制造：高纯氦气用于晶圆冷却（YS/T 442-2018）。

• 医疗 MRI 设备：液氦管道需符合 GB 50333（洁净手术部标准）。

• 科研实验室：真空系统管道（ISO 13431）用于粒子加速器。